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6.2 高效过滤器扫描检漏
6.2.1 高效过滤器扫描检漏应符合下列规定:
1 对送、排(回)风高效空气过滤器的现场检漏,应采用扫描法,采用光度计或粒子计数器在过滤器与安装框架接触面、过滤器边框与滤纸接触面以及其全部滤芯出风面上进行。过滤器上游用于现场扫描检漏检测的气溶胶可为液态,也可为固态。
2 被检过滤器的风量宜在设计风量的80%~120%之间。
3 当高效过滤器上游大气尘浓度低于4000粒/L,且过滤器上游系统上可设置检漏气溶胶注入点时,可采用光度计法进行检漏。
4 粒子计数器法可适用于所有等级的洁净场所过滤器检漏,适用过滤器最大穿透率可低至0. 000005%或更低。
5 采用光度计扫描检漏时,高效过滤器上游气溶胶浓度宜在20mg/m3~80mg/m3,不得低于10mg/m3;采用粒子计数器扫描检漏时,高效过滤器上游浓度及采样流量应符合表6.2.1的规定。当上游浓度达不到规定要求时,应采用适当措施增加上游浓度。
表6.2.1 粒子计数器扫描检漏时的参数
6.2.2 高效过滤器扫描检漏应按下列方法进行:
1 检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2cm~3cm处,宜以1.5cm/s(2.83L/min)或2cm/s(28.3L/min)的速度移动,对被检过滤器进行扫描。
2 当上游浓度较大时可提高扫描速度。
3 采用光度计扫描检漏时,过滤器局部透过率不应超过0.01%;采用粒子计数器扫描检漏时,粒子计数器显示值为检测结果。
6.2.2 高效过滤器安装后的检漏方法主要参照《洁净室及相关受控环境》ISO14644以及《洁净室施工及验收规范》GB 50591中的要求,并结合工程实践制定,光度计法发尘量大,操作复杂,易污染,一般宜采用粒子计数器法。
对于单个安装高效过滤器,四周形成空腔时,应采取适宜的隔离措施,如不采用措施,在安装边框扫描处会受周围环境洁净度影响,造成无法判断。
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