14.7 离子化静电消除设备的防静电性能检验

14.7.1 本节适用于安装在吊顶、墙壁上、空调及新风系统中的离子化静电消除设备的防静电性能检验。

14.7.2 离子化静电消除设备的工作区不得有水平和垂直方向的外部扰动气流。

14.7.3 生产线上端顶棚或空调及新风系统集中安装的离子化静电消除设备的检验验收应符合下列规定：

1 静电敏感度|U|大于100V的器件生产和操作场所，当充电板监测仪放置在生产线操作台上时，从±1000V降至±100V时的静电消散时间应小于20s、残余电压绝对值应小于50V。

2 静电敏感度|U|大于10V，但小于100V的器件生产和操作场所，静电消散时间应小于20s、残余电压绝对值应小于5V。

14.7.4 整体生产厂房顶棚或空调及新风系统上安装的离子化静电消除设备的检验验收应符合下列规定：

1 静电敏感度|U|大于100V的器件生产和操作场所，当充电板监测仪从±1000V降至±100V时，操作工位和生产线工作台面的静电消散时间应小于20s、残余电压绝对值应小于50V；在生产车间其他距地坪0.8m任意水平位置上测试，静电消散时间应小于20s、残余电压绝对值应小于100V。

2 静电敏感度|U|大于10V，但小于100V的器件生产和操作场所，在生产车间距地坪0.8m任意水平位置上测试，静电消散时间应小于20s、残余电压绝对值应小于5V。

14.7.5 离子化静电消除设备消除静电性能测试方法应符合下列规定：

1 随机抽测点应均匀分布，且不应少于操作工位总数的30％。

2 生产线防静电工作台延长线每1.5m处应设定一个测点。

3 每个测点的测试值应符合本规范第14.7.3条、第14.7.4条的规定。

4 抽检方案应符合现行国家标准《计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划》GB/T 2828.1的有关规定。

14.7.6 离子化静电消除设备产生的臭氧浓度应符合国家现行有关工作场所有害因素职业接触限值第1部分：化学有害因素的标准。

条文说明

14.7.1 本节限定为吊顶、墙壁上和新风(空调)系统的离子化静电消除设备，将其视为防静电工程。单台离子化静电消除器和其他种类的离子化静电消除设备应执行其相应的国家标准和产品标准，可参照本节内容进行检验。

14.7.2 本条是对离子化静电消除设备的工作区内扰动气流的限制。水平和垂直方向的外部扰动气流将影响离子化静电消除设备的工作效果，导致离子化静电消除设备的工作区设计指标不能达到。

14.7.3、14.7.4 对于离子化静电消除器电性能测试，国外主要标准为：美国静电放电协会《静电放电敏感物品的防护试验方法、电离》ANSI/ESD STM3.1-2006和国际电工委员会标准《静电学第1-5部分：静电现象中电子装置的保护一般要求》IEC 61340-5-1。IEC 61340-5-1中有两处表述：第14页Ioniza-tion栏目内，以offset voltage表述“偏移电压”，以及在第34页中以Tension de décalage表述“偏移电压”。ANSI/SED STM3.1-2006中的附件A8及A13.6中以Remnant Voltage表述“残余电压”。所以表述对于离子化静电消除设备本身检测时用“偏移电压”；表述被消静电物体检测时用“残余电压”。

生产线上端顶棚或空调、新风系统集中安装和整体生产厂房顶棚或空调、新风系统上安装的离子化静电消除设备，分为两类。将生产和操作静电敏感度分为两种情况，绝对值大于10V但小于100V和绝对值大于100V的静电敏感器件的场所。

14.7.5、14.7.6 这两条是对离子化静电消除设备消除静电性能检测的测点位置、测点数量、工程不合格判定和臭氧浓度作出的补充规定。第14.7.5条第1款适合于操作工位总数较少的情况。所以，避免抽样数过少时执行第1款，必要时可全检。第4款提到的《计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划》GB/T 2828.1.的规定是国家质量检验抽样的基本方法，抽样数由接收质量限(AQL)和一般检验的Ⅱ水平决定的。国家现行标准《工作场所有害因素职业接触限值第1部分：化学有害因素》GBZ 2.1-2007中臭氧的规定是最高容许浓度0.3mg/m³，即所有工作地点、在一个工作日内、任何时间有毒化学物质均不应超过的浓度。

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