G.3 恒压法

G.3.1  测试系统如图G.3.1所示。

G.3.2  可按以下步骤进行检测：

1  将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定，记录测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1℃)。 

2  关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等，关闭回风管(或排风管)上的阀门，如果风管上无阀或阀不严，应在回风口(或排风口)上用塑料膜加肓板的方法封住风口。

3  开启送风，使室内压力上升至500Pa，停止送风，关闭送风阀门。

通过围护结构上的孔洞和导管，由送风机或空气压缩机向室内补气，通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量，以维持洁净室内的压力稳定不下降，每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数，此数即为漏气量，测试持续的时间宜不超过5min，取平均值。

4  反之关闭送风阀，开启排风，当室内压力下降至-500Pa时关闭排风，开启真空泵保持室内压力，记录真空泵抽气量，此数即漏泄量。

5  测试结束后慢慢打开风阀，使房间压力恢复到正常状态。

6  如果需要进行重复测试，20min后进行。

7  当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。

G.3.3  检测报告应包括以下内容：

1  检测条件，包括室内温度等。

2  检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度；室内温度的动态变化；漏泄量的动态变化。

3  检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率；所测洁净室围护结构严密性的评价。