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G.2 压力衰减法
G.2.1 测试系统如图G.2.1所示。
G.2.2 可按以下步骤进行检测
1 将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录压力衰减测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1℃)。
2 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等,关闭回风管(或排风管)上的气密阀门,不得在风口上加其他密封措施,并维持各种孔洞缝隙的密封现状。
3 开启送风,使室内压力上升至已商定的测试压力(压力计量程至少为测试压力的1.5倍,最小示值不宜大于10Pa),压力稳定后,停止送风,关闭送风阀门。
4 或反之关闭送风管上的阀门,如果送风管上无阀或阀不严,应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口,开启排风,使室内压力下降至已商定的测试压力,压力稳定后,停止排风,关闭排风气密阀门。
5 从停上送(排)风起,记录压力随时间衰减的数据,每1min记录1次压差和温度,连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止。
6 测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态。
7 如果需要进行重复测试,20min后进行。
8 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。
G.2.3 检测报告应包括以下内容:
1 检测条件,包括室内温度等。
2 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度;所测洁净室压力、温度的动态变化;检测持续的时间。
3 检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1/2时的时间内压力衰减率;所测洁净室围护结构严密性的评价。
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