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7.3 气体
7.3.1 空压站宜布置在综合动力站内。
7.3.2 风冷式空气压缩机应设置热排风管道。
7.3.3 管道内输送露点低于-40℃的压缩空气时,宜采用内壁抛光的不锈钢管,阀门宜采用球阀。管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。
7.3.4 大宗气体供应系统宜根据用量及社会供应状况在工厂内设置外购液氮气储罐或瓶装气体供气。
7.3.5 大宗气体纯化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度、容许杂质含量的要求选择。终端纯化装置应设置在用气点处。
7.3.6 大宗气体纯度大于或等于99.99%、露点低于-40℃时,宜采用内壁抛光的不锈钢管,阀门宜采用波纹管阀或球阀。
7.3.7 工艺真空系统的抽气能力应按生产工艺实际用气量及系统损耗量确定。
7.3.8 工艺真空泵宜布置在微波集成组件厂房内。
7.3.9 工艺真空系统管道材料宜根据工艺真空系统真空度选用。
7.3.2 条文中规定风冷式空气压缩机设置热排风管道,这是为了防止热空气发生短路现象,导致设备因为冷却不当而停机。
7.3.3 工程实践表明,干燥压缩空气输送露点低于-40℃时,管道采用不锈钢无缝钢管、阀门采用球阀是合适的。
7.3.4 由于微波集成组件工厂大宗气体用量相对较小,采用外购液态气储罐或瓶装气体方式供气可以满足生产需求,这也是目前微波集成组件工厂普遍采用的大宗气体供气方式。
7.3.5 气体纯化装置是保证气体品质的重要设备,气体气源参数和使用参数是确定纯化装置的重要数据,终端纯化器靠近工艺设备是为了保证气体的品质。
7.3.6 大宗气体管道和阀门的选择与工艺对气体品质的要求关联度较大,因此规定根据气体的纯度确定管道材料和阀门类型,可燃气体管道尽量采用波纹管阀。
7.3.7 工艺真空系统管道材料根据工艺真空系统压力选用。
7.3.9 常用的工艺真空管道材料为镀锌钢管或厚壁聚氯乙烯管道。
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