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微波集成组件生产工厂工艺设计标准 GB51385-2019
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1 总则
2 术语
3 总体设计
4 厂房设计
4.1 厂址选择及布局
4.2 建筑
4.3 结构
5 工艺布局
5.1 一般要求
5.2 功能区划
6 工艺设计要求
6.1 —般要求
6.2 设备配置
6.3 工艺要求
7 公用工程
7.1 通风、空调与净化
7.2 给排水
7.3 气体
8 电气、照明与通信
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微波集成组件生产工厂工艺设计标准 GB51385-2019
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