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10.6 消防
10.6.1 发光二极管工厂应设置消防给水系统。
10.6.2 消防给水系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016及《自动喷水灭火系统设计规范》GB 50084的有关规定,并应符合下列规定:
1 洁净室生产区应设置室内消火栓;
2 洁净生产区应设置自动喷水灭火系统,喷水强度不应小于8L/min·m2,作用面积不应小于160m2;洁净室或洁净区内向下气流区域内应采用快速反应喷头;
3 特种气体站、硅烷站的消防设计应符合现行国家标准《特种气体系统工程技术规范》GB 50646的有关规定。
10.6.3 设置固定灭火装置的仓库,应按现行国家标准《自动喷水灭火系统设计规范》GB 50084的有关规定执行。
10.6.4 洁净区内宜配置的手提二氧化碳灭火器不应对洁净环境产生破坏,厂房内其余场所配置的灭火器应符合现行国家标准《建筑灭火器配置设计规范》GB 50140的有关规定。
10.6.2 本条第2款关于自动喷水喷头的规定,参照了美国消防协会发布的《Standard for the Protection of Semiconductor Fabri-cation Facilities》NFPA 318-2006第2.1.2.2条的条款。当洁净室的气流为向下时,火灾初期形成的向上热气流受到洁净室向下气流的抑制,使安装在洁净室吊顶的喷头热敏元件反应滞后,对扑灭初期火灾极为不利。由于快速反应喷头对热反应更敏感,使喷头在火灾初期能更早动作,而且喷头动作数量少,所以当洁净室的气流为向下时,应采用快速反应喷头。
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- 13.1 一般规定
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- 附录A 发光二极管典型生产环境要求
- 附录B 发光二极管生产工艺动力品质要求
- 附录C 发光二极管生产的典型工艺流程
- C.1 整体流程
- C.2 分步流程
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