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10.4 工艺冷却循环水
10.4.1 工艺设备冷却循环水的水质、水温、水压应根据生产设备要求确定。
10.4.2 工艺冷却循环水系统宜采用开式系统。
10.4.3 工艺冷却循环水系统的管材及配件应根据水质要求确定，不宜采用焊接钢管。
10.4.4 当工艺冷却水系统的水温要求与管道布置的环境温度不同时，管道系统应采取保温措施。
10.4.5 工艺冷却水系统应设置应急备用电源。
10.4.6 工艺冷却水的补水水质应满足工艺设备的要求。
10.4.2 本条规定的目的是为了确保不同用水设备的水量、水压得到较好平衡，适用下列情况：工艺用水设备台套数较多时；工艺设备进出水水压要求不同时；工艺用水设备布置在不同建筑层时。
10.4.4 本条规定主要是考虑了管道介质温度对洁净室的影响。当工艺冷却水的水温低于环境温度时，可能产生结露，影响洁净室的湿度；当工艺冷却水的水温高于环境温度时，管道系统会向环境放热，影响洁净室的温度。
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