9.3 空气调节与净化

    1  本款规定是为了很好地控制洁净室内的正压值，同时也为了节能。

    2  本款规定目的是使室外含尘空气在送入洁净室前得以彻底过滤，从而延长洁净室顶部风机过滤机组(FFU)内过滤器的使用寿命。

    3  本款规定是为了提高新风处理系统的可靠性，确保洁净室内的正压值和洁净度。

    4  本款规定是为了满足工艺设备的防微振要求，一般功率大于7.5kW的风机，电机与风机应采用直接驱动形式。

    6  考虑到薄膜晶体管液晶显示器工厂一般建在工业区，区内存在不少向大气中排放有害气体的工厂，薄膜晶体管液晶显示器工厂本身就是一个污染物的排放源，而恰恰薄膜晶体管液晶显示器工厂的有些生产工序对这些有害气体比较敏感，车间内浓度超过一定限值后会影响产品质量，采用淋水室加湿方式在加湿的同时，可以对这些有害气体达到去除的作用，可谓一举两得。而规定采用温水淋水室，主要是为了降低加湿前的空气温度，使加热器的热水供水温度得以降低，这样薄膜晶体管液晶显示器工厂大量的低位余热能得以利用，达到最大程度的节能。

9.3.2  本条规定是建议阵列、彩膜、成盒厂房的洁净室采用新风处理机组＋风机过滤器机组＋干冷却盘管的净化空调系统，模组和背光源厂房的洁净室采用新风处理机组＋循环空气处理机组＋高效过滤器送风口的净化空调系统；这样规定主要考虑了洁净室的形式、综合造价、综合能耗、系统可靠性、空间管理、运行维护管理等因素。

9.3.3  通过CFD(计算流体动力学)气流模拟显示，当洁净室回风方向宽度超过80m时，虽然采用双侧回风，如不采取其他措施，洁净室内的气流偏斜非常严重，个别地方甚至出现涡流。另外，通过CFD气流模拟结果显示，在多种改善气流偏斜的措施中，在宽度方向布置不同阻力的回风高架地板是相对简单、有效的办法。

9.3.4  本条对干冷却盘管的设置作了规定。

    1、2  主要是考虑到FFU的机外余压有限以及降低能源消耗。

    3  主要考虑到气流以及房间温度的控制。

    4  主要是考虑房间相对湿度是由新风机组保证的，干冷却盘管不承担去湿功能，而且为了洁净室的维护以及相对湿度的控制，干冷却盘管不应有去湿功能，干冷却盘管的供水温度应通过计算确定，通常宜高于洁净室(区)内的露点温度。

    5  干冷却盘管在正常运行时虽无冷凝水析出，但考虑到洁净室在高湿环境下启动和干冷却盘管、管路系统意外渗漏以及干冷却盘管及水系统需要检修而排水等因素，最好还应设置积水盘及排水系统。

9.3.5  薄膜晶体管液晶显示器工厂洁净室由于面积巨大，所以FFU数量很多，为了方便调节和节省能耗，宜采用直流调速电机并配置相应的控制系统，使操作人员在控制室内很容易对每台FFU实现单独控制。薄膜晶体管液晶显示器工厂洁净室有些区域FFU布置率较高，为满足洁净室内的噪声要求，FFU应采取消音措施，为保证洁净度以及FFU内高效(超高效)过滤器的使用寿命，消音装置不得采用发尘材料。聚四氟乙烯滤料的过滤器具有气体释放量小、抗腐蚀、滤纸强度大等优点，但由于它是表面过滤的机理，所以容尘量相对较小，当房间洁净度低于6级时，回风空气中含尘量相对较大，过滤器达到容尘量上限的时间相对缩短，所以规定洁净度等级低于6级的洁净室不宜采用聚四氟乙烯滤料的过滤器。

9.3.6  本条规定主要考虑了能耗，FFU所能提供的机外余压，上、下技术夹层压力分布，气流均匀性，噪声，空间合理利用等因素。

9.3.7  本条对空调冷、热源和水系统的设置作了规定。

    1  主要是考虑节能，因为冷冻水温提高1℃，制冷机组的COP值提高3％左右，所以薄膜晶体管液晶显示器的一般空调系统和净化空调系统应最大限度地使用中温冷冻水。另外，从两种冷源提供的时效考虑，低温冷冻水主要用于处理新风以保证室内的相对湿度，供水温度通常为5℃～7℃，提供的是季节冷源；中温冷冻水主要用于处理洁净室内的循环风，为保证干冷却，供水温度通常为12℃～14℃，常年提供，而薄膜晶体管液晶显示器工厂的一般空调系统和净化空调系统与工艺生产有关，工艺设备常年有发热负荷，且生产车间几乎多在内区，需要常年供给冷冻水，所以从这个角度考虑，也应该采用中温冷冻水。薄膜晶体管液晶显示器工厂洁净室面积很大，相应干冷却盘管水系统也很大，如不采用同程式冷冻水系统，安装在水系统中的远端和近端干冷却盘管的资用压力相差很大，水系统很难平衡和调节。

    3  本款规定主要是考虑减少供水干管的散冷量，降低供水干管远端的温升，使远端的干冷却盘管的热交换能力不受影响。

    4  本款规定主要是考虑防微振的要求，防止水管系统的振动直接传递到建筑物结构系统中而影响工艺生产。

    5  本款规定主要是考虑避免因空调水系统发生意外的漏水而影响电力系统的正常工作，甚至发生事故。

9.3.9  根据现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定，单向流和混合流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于65dB(A)，非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A)，但考虑到目前大部分薄膜晶体管液晶显示器工厂的洁净室采用新风处理机组＋风机过滤器机组＋干冷却盘管的净化空调系统，且使用的风机过滤器机组(FFU)规格大部分为1200×1200，按照现行行业标准《风机过滤器机组》JG/T 388的有关规定，1200×1200的单机噪声(标准型)小于或等于57dB(A)，根据国内几个工厂洁净室噪声的实测数据，当洁净室FFU采用满布时，洁净室内FFU的叠加噪声一般为FFU的单机噪声加13dB(A)左右，所以本规范将该类洁净室的噪声适当放宽。