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1 总则
1.0.1 为在薄膜晶体管液晶显示器工厂设计中贯彻执行国家的有关法律、法规和规定,满足薄膜晶体管液晶显示器生产要求,确保人身和财产安全,做到安全可靠、节能环保、技术先进、经济合理和确保质量的要求,制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、改建、扩建薄膜晶体管液晶显示器工厂的工程设计。
1.0.3 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。
1.0.1 本条规定了制定本规范的目的。
新型信息显示技术是信息产业的支撑产业之一,近年来,以薄膜晶体管液晶显示(TFT-LCD)技术为代表的平板显示技术和产品随着全球资本的不断聚集和技术的飞跃发展,已经占据了全球显示领域的主导地位。中国大陆从2003年起开始大规模投资建设薄膜晶体管液晶显示器工厂,到现在已经拥有十几条薄膜晶体管液晶显示器生产线。每条生产线的投资动辄上百亿,甚至几百亿人民币。高世代薄膜晶体管液晶显示器工厂建筑面积高达几十万平方米,高等级洁净室面积达到十万平方米以上,工厂的动力消耗巨大。在薄膜晶体管液晶显示器工厂设计中,经常会采用新技术、新工艺、新材料,甚至会遇到以往设计经验无法解决的问题。为此特制定本规范,以适应薄膜晶体管液晶显示器工厂设计的要求,使薄膜晶体管液晶显示器工厂设计既能满足薄膜晶体管液晶显示器生产的需要,并达到节能环保要求,也能符合国家的法律法规的规定。
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- 前言
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺
- 4.1 一般规定
- 4.2 基本工序
- 4.3 工艺区划
- 4.4 设备配置
- 5 厂址选择及总体规划
- 5.1 厂址选择
- 5.2 总体规划
- 6 建筑
- 6.1 一般规定
- 6.2 防火及安全疏散
- 7 结构
- 7.1 一般规定
- 7.2 厂房结构设计
- 7.3 微振动控制标准
- 7.4 微振动控制设计及测试
- 7.5 基座平台设计
- 8 气体动力
- 8.1 冷、热源
- 8.2 大宗气体供应
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- 8.4 压缩空气供应
- 8.5 工艺真空和清扫真空
- 9 供暖、通风、空气调节与净化
- 9.1 一般规定
- 9.2 采暖、通风与废气处理
- 9.3 空气调节与净化
- 9.4 防排烟
- 10 给水排水
- 10.1 一般规定
- 10.2 一般给水排水
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- 10.4 工艺冷却循环水
- 10.5 废水
- 10.6 消防给水及灭火设施
- 11 电气
- 11.1 供配电与照明
- 11.2 防雷与接地
- 11.3 火灾报警及消防联动
- 11.4 通信及自控
- 12 防静电
- 12.1 一般规定
- 12.2 防静电措施
- 12.3 防静电接地
- 13 化学品
- 13.1 一般规定
- 13.2 化学品储存和配送
- 13.3 管材、阀门
- 13.4 化学品废液收集回收
- 14 空间管理
- 14.1 一般规定
- 14.2 管线布置
- 14.3 共用管道支、吊架
- 附录A 薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程
- 附录B 微振动标准VC曲线
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
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