2.1 术语

    对用于产品生产的洁净室与相关受控环境以及为其服务的动力公用设施的总称。 

2.0.2  洁净度等级  classification

    洁净室(区)内悬浮粒子洁净度的水平。给出规定粒径粒子的最大允许浓度，用每立方米空气中的粒子数量表示。

2.0.3  漏风量    air system leakage ratio

    风管系统中，在某一静压下通过风管、附件及其接口，在单位时间内泄漏或渗入的空气体积量。

2.0.4  漏光检测    air leak cheek with lighting

    采用强光源对风管的咬口、接缝、法兰及其连接处进行透光检查，确定孔洞、缝隙等渗漏部位及数量的方法。

2.0.5  特种气体    special gas

    指电子产品生产过程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯气等具有可燃、有毒、腐蚀或窒息等特性的气体。 

2.0.6  化学品  chemical

    指产品生产过程中使用的酸、碱、有机溶剂、有机物质和氧化物等。

2.0.7  配管  piping

    洁净厂房中，用以输送、分配工艺用水、纯水、各类气体、化学品等的管路系统的管子、附件、管件、法兰、螺栓连接件、垫片、阀门和其他组成件的组装总成。

2.0.8  射线照相检验  radiographic examination

    对指定的一批配管的全部环向对接焊缝所做的全圆周射线检验和对纵焊缝所做的全长度射线检验。