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- 前言
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺
- 4.1 一般规定
- 4.2 基本工序
- 4.3 工艺区别
- 4.4 设备配置
- 5 总图
- 5.1 厂址选择
- 5.2 总平面布置
- 5.3 竖向设计
- 5.4 交通组织
- 6 建筑
- 6.1 一般规定
- 6.2 建筑防火
- 6.3 室内装修
- 7 结构
- 7.1 一般规定
- 7.2 结构方案
- 7.3 防微振
- 8 气体动力
- 8.1 冷热源
- 8.2 大宗气体
- 8.3 特种气体供应
- 8.4 压缩空气
- 8.5 工艺真空和清扫真空
- 9 供暖、通风、空气调节与净化
- 9.1 一般规定
- 9.2 供暖、通风与废气处理
- 9.3 空气调节与净化
- 9.4 防烟排烟
- 10 给水排水
- 10.1 一般规定
- 10.2 给水排水
- 10.3 纯水
- 10.4 工艺冷却循环水
- 10.5 废水
- 10.6 消防
- 11 电气
- 11.1 供电系统
- 11.2 低压配电及电气照明
- 11.3 信息与自控
- 11.4 防雷接地
- 12 节能
- 附录A 薄膜太阳能电池典型生产工艺流程
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
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