4.3 吹扫和排气系统

4.3.1 为防止自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氮气被本质特种气体污染，引发着火、中毒或设备拉坏等事故，并应在吹扫氮气管线设置止回阀。
4.3.2 从特种气体质量及系统安全的方面规定了吹扫氮气的气体面板的设置要求。
4.3.3 由于电子工厂常有氮气供应，且氮气价格低廉、性能稳定，所以特种气体系统的真空发生器一般采用氮气引射抽真空；由于抽真空过程不会污染公用氮气系统，所以，抽真空用氮气可由公用氮气供应。
4.3.4 自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统在抽真空或吹扫过程中排出的超过规定浓度的特种气体和特种气体混合气对环境与人体将会造成着火、中毒和损害设备、管路等安全危害，因此这些特种气体及混合气应通过排气管道进入尾气处理装置进行处理，达到规定浓度后才能排入厂务排气系统。
4.3.5 尾气处理装置的设置是特种气体系统的重要部分之一，塔既涉及特种气体系统的储存、输送系统的安全运行，也涉及生产厂房，周围环境安全以及人员健康，而尾气处理装置的类型有多种，具体某种特种气体尾气处理装置的选型，应根据其物理化学性质，排气中特种气体的浓度等特性进行选择，几种尾气处理方法对特种气体的适应性大体是：干法吸附较适用于ASH3等；湿法洗涤较适用于NH3、NOX、HCL等，热分解或燃烧式较适用于CF4、SF6、SiH4、PH3等特种气体。为防止不相容性特种气体发生反应引发事故，不相容性特种气体应分别采用不同的尾气处理装置进行处理。从安全和环境保护的角度出发，尾气处理装置靠近特种气体设备布置是为了缩短管道长度，便于与特种气体设备一并考虑建筑、电气的设计。