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A.5 认证
A.5.1 按双方协议书的规定及第A.2节的要求,按第A.3节的方法进行测试,当测试结果在规定的限值之内时,可认定该洁净室符合规定要求。当测试结果超过规定的限值,可认定该洁净室不符合要求,应进行改进,在完成改进工作之后,应进行再认证。
A.5.2 记录数据评价应符合下列规定:
1 在空气洁净度测试中,当测点在1点~10点时,应计算平均中值、标准偏差、标准误差和由全部采样点的平均粒子浓度导出95%置信上限值。
2 当采样点超过10点时,应计算算术平均值,并按算术平均值进行空气洁净度等级的评价。
A.5.3 每次性能测试或再认证测试应做记录,并应提交性能合格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容:
1 测试机构的名称、地址。
2 测试日期和测试者签名。
3 执行标准的编号及标准出版日期。
4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。
5 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差。
6 测量用的仪器编号和标定证书,测试方法细则及测试中的特殊情况。
7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数。
8 对异常测试值进行说明及数据处理。
9 注明上次的测试日期。
10 设施的测试文件可作为下次监测计划的依据。
A.5.4 测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书。
A.5.2 记录数据评价应符合下列规定:
1 在空气洁净度测试中,当测点在1点~10点时,应计算平均中值、标准偏差、标准误差和由全部采样点的平均粒子浓度导出95%置信上限值。
2 当采样点超过10点时,应计算算术平均值,并按算术平均值进行空气洁净度等级的评价。
A.5.3 每次性能测试或再认证测试应做记录,并应提交性能合格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容:
1 测试机构的名称、地址。
2 测试日期和测试者签名。
3 执行标准的编号及标准出版日期。
4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。
5 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差。
6 测量用的仪器编号和标定证书,测试方法细则及测试中的特殊情况。
7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数。
8 对异常测试值进行说明及数据处理。
9 注明上次的测试日期。
10 设施的测试文件可作为下次监测计划的依据。
A.5.4 测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书。
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- 4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置
- 4.2 工艺平面布置和设计综合协调
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- 附录A 洁净室或洁净区性能测试和认证
- A.1 通则
- A.2 洁净室或洁净区性能测试要求
- A.3 洁净室主要测试方法
- A.4 监测
- A.5 认证
- 附录B 洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例
- 附录C 净化空调系统设计对维护管理的要求
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
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